جودة UPW مهمة جدًا في تحسين إنتاج أشباه الموصلات، والمياه فائقة النقاء ASTM D5127-13 (2018) على متطلبات البورون: النوع E-1 / E-1.1 / E-1.2 / E-1.3: 300ppt / 100ppt / 50ppt / 50ppt ؛ الاتجاه المستقبلي للمياه فائقة النقاء على احتياجات البورون 1ppt ؛ عملية إزالة البورون الخاصة باستخدام إزالة عالية من عملية إزالة البورون الخاصة تعتمد على وحدة إزالة البورون عالية السيليكا ونظام راتنج إزالة البورون، والتي يمكن أن تحقق الإزالة الفعالة للبورون؛
| سمات | عملية تبادل الأيونات | عملية خاصة لإزالة البورون |
| كفاءة المعالجة | عالي | أعلى |
| تكلفة الاستثمار | وسط | وسط |
| تكاليف التشغيل | كثير | عدد قليل |
| الاستخدام الكيميائي | كثير | لم يتم استخدامه |
| درجة الأتمتة | قليل | عالي |
| التأثير البيئي | عالي | منخفض جدا |
